Лунин Л.С.¹, Марончук И.Е.², Сысоев И.А.^3
1 Южно-Российский государственный технический университет, Россия.
² Севастопольский национальный университет ядерной энергии и промышленности, Украина.
³ Северо-Кавказский государственный технический университете, Россия.

Разработан новый метод получения наногетероэпитаксиальных структур, проведены исследования механизмов кристаллизации массива квантовых точек (КТ), технологических режимов получения этих структур и исследование их характеристик. Выращивание нанослоев или массивов КТ гетероэпитаксиальных структур осуществлялось при температуре печи 450-500°С в атмосфере очищенного водорода модифицированным методом жидкофазной эпитаксии при импульсном охлаждении теплопоглотителем тыльной стороны подложки.