Тенденции и перспективы развития нанотехнологического оборудования: современные технологии и аналитические возможности17.12.2011 ЗАО «НТ-МДТ», Москва, Россия В статье представлены три направления развития приборостроения для нанотехнологий, в концепте которых работают разработчики группы компаний НТ-МДТ, а именно а) расширение возможностей СЗМ за счет интеграции с другими исследовательскими подходами, б) упрощение этапа настроек и снижение квалификационного барьера для оператора, в) создание автоматизированных высоковакуумных комплексов для отработки технологий МЭМС и НЭМС. Комментарии:Пока комментариев нет. Станьте первым! |