«Нанофаб» и работы, выполняемые на этом комплексе

Опубликовано 12.10.2013
NT-MDT S.I.   |   просмотров - 3701,   комментариев - 0
«Нанофаб» и работы, выполняемые на этом комплексе

Владимир Кириллович Неволин, профессор кафедры квантовой физики и наноэлектроники Московского института электронной техники, и сотрудники его лаборатории рассказывают о работах, выполняемых на «Нанофабе» (нанофабрика) – большом комплексе для нанотехнологов, состоящим из трех установок. В частности, в состав «Нанофаба» входит установка молекулярно-лучевой эпитаксии (нанесение пленок на подложки в виде отдельных молекулярных или атомарных слоев).


Комментарии:

Пока комментариев нет. Станьте первым!