Некоторые альтернативы в наноэлектронике

11.01.2011
С. А. Кривелевич1, А. С. Рудый2, А. Б. Чурилов1
1Ярославский филиал Физико-технологического института РАН
2 Ярославский государственный университет им. П.Г.Демидов, Ярославль, Россия

Стандартным материалом современной микро- и наноэлектроники безусловно является кремний. На его основе создаются различные микроэлектронные и микроэлектромеханические (МЭМС) компоненты, а также солнечные элементы, которые могут использоваться в качестве источников питания для устройств микроэлектроники и микромеханики. Основой структурного единства различных технологий создания таких устройств является применение литографических методов, позволяющих получать разнообразные формы на поверхности и в объеме полупроводника. Однако конкретные технологии создания микроэлектронных, микромеханических и оптических устройств зачастую плохо согласуются друг с другом, что сдерживает развитие нанотехнологий, позволяющих создавать энергонезависимые микромеханические устройства с электронным управлением.


Комментарии:

Пока комментариев нет. Станьте первым!