В. А. Быков
ЗАО «НТ-МДТ», Москва, Россия

В статье представлены три направления развития приборостроения для нанотехнологий, в концепте которых работают разработчики группы компаний НТ-МДТ, а именно
а) расширение возможностей СЗМ за счет интеграции с другими исследовательскими подходами,
б) упрощение этапа настроек и снижение квалификационного барьера для оператора,
в) создание автоматизированных высоковакуумных комплексов для отработки технологий МЭМС и НЭМС.