Ю. Ф. Иванов, Н. Н. Коваль, Н. А. Тимченко, И. П. Чернов

Одним из приоритетных направлений современной науки о наноматериалах является разработка технологий создания на поверхности многофазных нанокристаллических и аморфных слоев и покрытий с характерным размером зерна менее 100 нм, придающие материалам новые свойства и функциональные возможности. При этом наиболее эффективными в настоящее время являются плазменные и пучковые технологии.