Получены уникальные наноструктуры для производства полупроводников

20.08.2024

Ученые Новосибирского государственного университета (НГУ) сформировали уникальные волнообразные наноструктуры на поверхности монокристаллических полупроводников кремния и германия для производства полупроводников. Способ получения наноструктур, разработанный учеными, обладает высокой эффективностью обработки поверхности материалов при минимальном повреждении их структуры, сообщили ТАСС в Минобрнауки РФ.

Наноструктурирование поверхности - это способ улучшения функциональных свойств различных материалов без изменений их химического состава. Новосибирские физики для получения таких наноструктур используют газоструйные ионно-кластерные пучки.

"Одно из главных наших преимуществ - формирование высокоинтенсивного ионно-кластерного пучка, позволяющего более эффективно полировать, распылять и формировать наноструктуры по сравнению с импульсным режимом. При этом в нашем случае образец можно установить неподвижно или двигать в двух направлениях. Для более однородной обработки поверхности мы двигали образец в одном направлении, а для более эффективного формирования наноструктур пучок падал на его поверхность под углом 60 - именно его мы признали оптимальным. В ходе исследований заметили закономерность: чем больше атомов под таким углом падает на образец, тем выше и шире становятся волны на его поверхности", - приводит пресс-служба слова руководителя проекта Ивана Николаева.

Волнообразная структура способствует лучшей проводимости материала, что важно для его последующего применения. По словам Николаева, сейчас формирование наноструктур на функциональных поверхностях различных материалов востребовано в солнечной энергетике, электронной технике, телекоммуникации, плазмонике, оптоэлектронике, создании высокочувствительных датчиков и других технологических приложениях.

Ученые установили, что бомбардировка германия наклонным ионно-кластерным пучком аргона обеспечивает очень высокую эффективность формирования наноструктур. Одновременно они выяснили, что волнообразные наноструктуры преобразуются в островковые конусообразные наноструктуры, что открывает новые перспективы перед исследователями. Такие наноструктуры могут найти практическое применение в спектроскопии, позволяющей регистрировать низкие концентрации веществ, а также в фотонике в качестве оптических переключателей, которые используются в системах связи.

Источник: ТАСС


Комментарии:

Пока комментариев нет. Станьте первым!