Специалисты Физического института имени Лебедева создали на основе переставшего производиться после распада Советского Союза электронного нанолитографа установку для получения отечественных компонентов рентгеновской и дифракционной оптики.

«В качестве базы для установки мы взяли электронный нанолитограф ZBA, разработанный в 1980–1990 годах консорциумом стран Совета экономической взаимопомощи (СЭВ). В СССР, странах СЭВ и на постсоветском пространстве работали несколько сотен таких установок, и значительная часть всей позднесоветской и постсоветской электроники изготавливалась с использованием этих машин, которые после распада Советского Союза в силу политических причин перестали производиться. Помимо реинжиниринга отдельных узлов установки, осуществлена их переработка с учетом современных технологий», — рассказал руководитель Троицкого обособленного подразделения ФИАН, вице-президент Международной комиссии по оптике Андрей Наумов.

Среди компонентов электроники, которые российские ученые уже получают с помощью установки, — элементы спектрометров и компоненты, применяемые при изготовлении дифракционных оптических элементов и фазовых решеток для систем машинного зрения и микроскопии.

Метод электронно-лучевой литографии предполагает использование пучка электронов для структурирования поверхности специального полимерного материала (резиста). Этот подход позволяет, в частности, производить уникальные наноструктуры (с технологическим стандартом до 200 нм и менее) для научных исследований и реального сектора экономики.

Источник: @vremyavperedrus