Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях

Опубликовано 22.11.2010
Вячеслав Галперин   |   просмотров - 1972,   комментариев - 0
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях

Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Содержание учебного пособия «Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях»

По вопросам приобретения обращаться:

«БИНОМ. Лаборатория знаний»

Телефон: (499) 157-5272

e-mail: binom@Lbz.ru, http://www.Lbz.ru


Комментарии:

Пока комментариев нет. Станьте первым!